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三氯氢硅制备高纯硅

来源:化工产品网-原创 发布时间:2023-08-11 17:56:32
三氯氢硅制备高纯硅

三氯氢硅是制备高纯硅的重要原料。在制备高纯硅的过程中,首先需要将三氯氢硅进行还原,得到纯净的硅。下面将介绍三氯氢硅制备高纯硅的具体过程。

三氯氢硅制备高纯硅的步骤如下:

1. 首先,采用化学气相沉积(CVD)的方法,在高温下将三氯氢硅蒸发,使其分解产生纯净的硅。

2. 将产生的硅进行粉碎,使其达到所需的颗粒度。

3. 接下来,将硅粉进行洗涤,以去除其中的杂质和残留物。

4. 对洗涤后的硅粉进行干燥处理,使其达到所需的干燥度。

5. 最后,将干燥后的硅粉进行熔融处理,使其达到高纯度的要求。这一步通常采用真空电弧熔炼(VAR)的方法进行。

通过以上步骤,我们可以得到高纯度的硅材料,可用于制备半导体器件、光电器件等高科技产品。

需要注意的是,在三氯氢硅制备高纯硅的过程中,需要对环境进行保护,避免污染和危害。同时也需要注意操作安全,避免产生危险和事故。


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